電鏡專用等離子清洗機作為高精度前處理設備，長期在真空、射頻與活性氣體環境下運行，若缺乏系統性維護，易出現真空泄漏、射頻打火、腔體污染或氣體管路堵塞等問題，直接影響清洗效果與設備壽命。
電鏡專用等離子清洗機應建立日清、周檢、月保、年校的全周期保養機制，才能確保啟得穩、洗得凈、用得久。
一、每日使用后基礎清潔
腔體擦拭：
關機后待腔體冷卻，用無絨布蘸少量無水乙醇輕拭內壁及載物臺，清除殘留有機物；
密封圈檢查：
目視氟橡膠（Viton）O型圈是否平整、無裂紋或粘附顆粒，若有污漬用酒精棉簽清潔；
廢液/殘渣清理：
倒空冷阱（如有），防止揮發性副產物回流。
二、每周深度維護
真空泵油觀察：
檢查旋片泵油是否乳化、變黑或低于油標下限，若渾濁需及時更換專用真空油（如ISOVG100）；
氣體過濾器檢查：
清潔或更換進氣口的0.01μm顆粒過濾器，防止微粒進入腔體；
射頻電極清潔：
斷電后用干燥壓縮空氣吹掃電極表面，避免碳化沉積導致打火。
三、每月系統性保養
真空檢漏測試：
關閉所有閥門，抽至真空后保壓30分鐘，壓升率應＜5Pa/min，否則排查密封圈或接頭；
質量流量控制器（MFC）校準：
使用皂膜流量計驗證氣體流量準確性，偏差＞5%需送廠標定；
接地與屏蔽檢查：
確認設備接地電阻＜4Ω，射頻屏蔽罩無松動，減少電磁干擾。
四、每季度與年度維護
O型密封圈更換：
氟橡膠圈建議每12–18個月預防性更換，避免老化漏氣；
真空泵全面保養：
更換泵油、油濾，清洗排氣過濾器，延長泵壽命；
整機性能驗證：
用標準污染硅片（如滴加指紋油）進行清洗測試，SEM觀察清潔效果，確認等離子活性達標。
更新時間：2026-02-26 
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