高真空鍍膜機作為精密薄膜制備的核心裝備,其性能穩定性直接決定光學膜、半導體層或功能涂層的均勻性、附著力與純度。設備長期在高真空、高溫、高能環境下運行,易因殘余氣體吸附、部件老化或微粒污染導致真空度下降、成膜速率波動甚至工藝失敗。建立
高真空鍍膜機科學、系統的定期維護保養制度,是延長設備壽命、保障鍍膜質量的關鍵。

一、日常維護(每次使用前后)
腔體清潔:鍍膜后及時清理濺落靶材碎屑,用無塵布蘸無水乙醇擦拭內壁,避免累積剝落造成顆粒污染;
觀察窗檢查:清潔石英觀察窗,確保無膜層覆蓋,保障光學監控或目視觀察清晰;
冷卻系統確認:檢查水冷管路無泄漏,水流暢通,水溫≤25℃,防止熱負荷損壞電源或坩堝。
二、周度保養
真空密封檢查:查看O型圈(氟橡膠或金屬密封)是否老化、變形或沾染油脂,必要時更換并涂抹真空脂;
泵油狀態評估:旋片泵油若變黑、乳化或液位過低,應及時更換專用真空油;
電氣接頭緊固:檢查蒸發源、加熱器接線端子是否松動,防止接觸不良打火。
三、月度深度維護
分子泵維護:檢查軸承運行聲音,確認無異常振動;部分型號需補充潤滑油(按廠家周期);
石英晶振探頭清潔:拆卸QCM傳感器,用丙酮超聲清洗電極表面沉積物,恢復頻率靈敏度;
靶材與蒸發舟更換:清理殘余材料,安裝新靶,確保裝夾牢固、對中準確。
四、季度/年度全面檢修
極限真空測試:空載抽真空至穩定狀態,記錄本底壓力(應≤5×10??Pa),若明顯劣化,排查漏點(氦質譜檢漏)或烘烤除氣;
烘烤除氣處理:對不銹鋼腔體通電加熱至100–150℃并持續抽氣12–24小時,加速釋放內壁吸附水汽;
控制系統校準:校驗溫度傳感器、膜厚儀、真空規管等計量器件,確保數據準確;
安全聯鎖測試:驗證水壓、過流、真空連鎖保護功能是否正常響應。