電鏡專用等離子清洗機是掃描電鏡、透射電鏡及能譜分析前處理的關鍵設備,通過低溫等離子體高效去除樣品表面的有機污染物、油脂、水膜及微塵,顯著提升成像清晰度、元素分析準確性與鍍膜附著力。
電鏡專用等離子清洗機以無損清潔、快速高效、操作安全為核心優勢,整機性能依賴于多個精密模塊的協同運作。以下為其主要組成部件的功能特點詳解:

一、真空腔體系統
高純石英或不銹鋼腔體:
內壁電解拋光處理,低放氣率,避免二次污染;
快開式密封門設計:
配備氟橡膠或硅膠O型圈,確保≤10Pa極限真空,支持頻繁開關;
多規格載物臺:
可容納標準SEM樣品臺(如12.7mm釘)、TEM銅網或異形支架,部分機型帶旋轉功能,實現均勻處理。
二、射頻等離子發生單元
13.56MHz射頻電源:
功率0–100W連續可調,避免高能離子損傷敏感樣品(如生物組織、聚合物);
匹配網絡自動調諧:
實時阻抗匹配,確保等離子體穩定點燃,減少反射功率對電源的損害;
氣體種類兼容性強:
支持氧氣、氬氣、空氣等多種工藝氣體,流量由質量流量控制器(MFC)精準調節(0–100sccm)。
三、真空與氣體控制系統
雙級旋片真空泵:
抽速≥4L/s,10分鐘內達工作真空(50–200Pa),部分機型配分子泵實現更高潔凈度;
數字真空計與壓力傳感器:
實時監測腔內壓力,閉環控制進氣閥,維持工藝穩定性;
氣體管路全不銹鋼/PTFE材質:
防止金屬離子析出,保障超高純氣體通路。
四、智能控制與人機交互
7英寸觸摸屏界面:
預設“SEM清潔”“TEM預處理”“鍍膜前活化”等程序,用戶可自定義時間(10s–30min)、功率、氣體比例;
數據記錄功能:
自動存儲每批次處理參數,滿足GLP/GMP實驗室審計要求;
安全聯鎖機制:
腔門未關緊時禁止啟動,真空不足時自動切斷射頻,防止打火。